戰(zhàn)國初屬魏，在縣北與甘泉縣交界附近筑有雕陰邑。
周顯王三十六年（前333）歸秦，秦設(shè)雕陰縣。
西漢增設(shè)直路、襄洛二縣，東漢末三縣俱廢。
前秦永興二年（358）在縣南今故縣（固縣、固險）村設(shè)長城縣；西魏文帝元年（535）治遷今三川驛，廢帝三年（554）因縣城位于華池水、黑源水和洛水三川交匯處更名三川縣。
隋開皇三年（583）在今縣址增設(shè)洛交縣，大業(yè)三年（607）改鄜州為鄜城郡移治五交城（今鄜城便民服務(wù)中心），后改為上郡；唐武德元年（618）改上郡為鄜州，三年于今直羅鎮(zhèn)分洛交、三川二縣地增設(shè)直羅縣；宋熙寧七年（1074）降三川縣為鎮(zhèn)，轄地并入洛交縣；蒙古至元四年（1267）撤銷洛交、直羅二縣，轄地由鄜州直轄；1913年撤銷鄜州設(shè)鄜縣；1949年直屬陜北行署區(qū)；1950年屬延安專區(qū)；1958年并鄜縣入洛川，1961年復設(shè)成今境。
1964年因“鄜”字生僻，經(jīng)國務(wù)院批準，將“鄜縣”更名為“富縣”，1968年屬延安地區(qū)，名稱沿用至今。