縣域春秋戰(zhàn)國時(shí)屬齊國祝阿地，西漢隸平原郡祝阿縣。
東漢，耿濟(jì)鎮(zhèn)正式成為政區(qū)名稱，隸平原郡祝阿縣。
三國至隋，仍祝阿地。
唐天寶元年（742）廢祝阿為禹城，耿濟(jì)鎮(zhèn)屬禹城縣，隸齊州濟(jì)南郡。
宋，始改耿濟(jì)鎮(zhèn)為濟(jì)河鎮(zhèn)，繼稱齊河鎮(zhèn)，隸齊州濟(jì)南府禹城縣。
金天會八年（1130），升鎮(zhèn)為縣，正式成為縣級政區(qū)。
元，隸德州；明、清隸濟(jì)南府。
1912年起，先隸濟(jì)南府，后直屬山東省。
抗日戰(zhàn)爭全面爆發(fā)后，縣境分北、中、南部共3個(gè)縣級人民政權(quán)行政，北部先后稱齊河縣、齊濟(jì)縣、齊臨縣，初隸冀魯邊二專區(qū)，1944年隸渤海區(qū)濼北專區(qū)；中部先后稱齊河縣、齊禹縣，1942年隸冀魯豫區(qū)一專區(qū)，1949年隸濼北專區(qū)；南部先后稱長清縣、河西縣、長清縣、河西縣，1942年隸冀魯豫一專區(qū)，1949年隸濼北專區(qū)。
1950年5月，北、中部合并，稱齊河縣，隸德州專區(qū)。
1956年5月南部原河西縣部分劃入，隸聊城專區(qū)。
1961年復(fù)隸德州專區(qū)，1980年改稱德州地區(qū)。
1990年縣東部三鄉(xiāng)鎮(zhèn)劃入濟(jì)南市，成今境域，屬德州地區(qū)。
1994年12月德州地區(qū)改稱德州市，歸屬德州市管轄至今。