夏、商時代,縣域?qū)偌街;春秋、?zhàn)國時屬燕地;西漢、東漢時屬幽州漁陽郡路縣(后改潞縣)地;唐開元四年(716)析幽州潞縣東部置三河縣,從此縣域大部屬三河縣地;1952年10月,在回族聚居的三河縣三、四區(qū)建立三河縣大廠回族自治區(qū);1955年在三河縣大廠回族自治區(qū)的基礎(chǔ)上建立大廠回族自治縣,轄17個鄉(xiāng)、75個村,隸屬河北省通縣專區(qū);1958年年底并入薊縣,稱薊縣大廠回族自治區(qū)人民公社,屬唐山專區(qū);1961年7月屬天津?qū)^(qū);1962年,恢復(fù)縣建制,下轄6個人民公社,104個村;1972年,增加1個村,為105個行政村,自此行政區(qū)域固定;1974年1月,天津地區(qū)改為廊坊地區(qū);1984年3月,改社為鄉(xiāng)鎮(zhèn)后,全縣有2鎮(zhèn),4鄉(xiāng);1996年4月28日,撤銷王必屯鄉(xiāng),并入大廠鎮(zhèn);2006年撤銷祁各莊鄉(xiāng),建祁各莊鎮(zhèn);2006年至今,全縣轄大廠鎮(zhèn)、夏墊鎮(zhèn)、祁各莊鎮(zhèn)、陳府鎮(zhèn)、邵府鎮(zhèn)5個鎮(zhèn)和一個北辰街道辦事處,共105個行政村和10個居民委員會至今。