明天順六年（1462）部分蟻姓人遷居于此。
前屬海陽縣蘇灣都。
明成化十三年（1477）屬饒平縣。
明嘉靖四十二年（1563）屬澄海縣蘇灣都。
1921年撤都設(shè)區(qū)，設(shè)銀砂鄉(xiāng)，屬東隴區(qū)。
1936年屬第二區(qū)。
1946年撤區(qū)并鄉(xiāng)，銀砂、埭頭、西埭頭、三岱美、梅浦合稱銀砂鄉(xiāng)。
1949年屬蘇北區(qū)。
1951年屬溪南區(qū)。
1953年析銀砂鄉(xiāng)為銀北、銀南二鄉(xiāng)，內(nèi)厝合弓兜、外蟻、口厝稱銀南鄉(xiāng)，屬溪南區(qū)。
1957年屬溪南鄉(xiāng)。
1958年成立澄海縣人民公社，屬第一支隊(duì)115團(tuán)。
1959年銀南析為弓兜、內(nèi)厝、外蟻、口厝4個(gè)生產(chǎn)大隊(duì)，屬溪南人民公社。
1984年1月設(shè)區(qū)建鄉(xiāng)，設(shè)內(nèi)厝鄉(xiāng)，屬溪南區(qū)。
1986年11月撤區(qū)置鎮(zhèn)，設(shè)內(nèi)厝村，屬溪南鎮(zhèn)。
1990年設(shè)內(nèi)厝管理區(qū)。
1998年9月設(shè)內(nèi)厝村，沿用至今。