明屬石佛里。
清屬廣積里。
民國時屬馬渠鎮(zhèn)。
1945年7月，陜甘寧邊區(qū)時設(shè)第三（石佛）區(qū)，轄廟渠，清水河，孫摘子，牛塬，文夏5個鄉(xiāng)。
1949年8月，石佛區(qū)所轄5個鄉(xiāng)撤銷，并入馬渠區(qū)。
1950年1月，開邊（六區(qū)），三岔（七區(qū)）。
1953年1月馬渠區(qū)（十區(qū)）。
1956年4月屬馬渠基點鄉(xiāng)。
1958年3月設(shè)立黎明鄉(xiāng)，廟渠鄉(xiāng)。
1958年9月成立五星人民公社，轄開邊、廟渠、黎明、馬渠等6個鄉(xiāng)。
1961年6月設(shè)立廟渠人民公社。
1965年1月屬馬渠人民公社。
1966年5月由馬渠公社分出，稱廟渠公社；1983年12月改稱廟渠鄉(xiāng)，2019年8月廟渠鄉(xiāng)撤鄉(xiāng)改鎮(zhèn)。