民國二十六年（1937年），設石佛鎮(zhèn)。
1950年，分設石佛鎮(zhèn)（1951年改為鄉(xiāng)）、早陽鄉(xiāng)、晚陽鄉(xiāng)。
1952年，增設保峪鄉(xiāng)。
1954年，再增峪峰鄉(xiāng)。
1955年，5鄉(xiāng)并為石佛鄉(xiāng)和晚陽鄉(xiāng)。
1956年，晚陽鄉(xiāng)并入石佛鄉(xiāng)。
1958年9月，石佛鄉(xiāng)并入三陽公社。
1961年7月，分設石佛、早陽、晚陽3公社。
1966年和1968年，早陽、晚陽（1967年改為向陽）先后并入石佛，稱向陽。
1971年，復名石佛。
1983年，石佛公社改鄉(xiāng)。
2003年，原南河川鄉(xiāng)撤銷，馬家山、樊家灣、董家河三村歸并石佛鄉(xiāng)管轄。
2011年11月，石佛鄉(xiāng)改鎮(zhèn)。